靜電式油霧凈化器利用靜電原理，使氣流中的微粒帶電荷后，借助庫侖力的作用將其捕集在集塵裝置上。它由離子化集塵裝置、送風機和電源等部件構成。

如圖所示電子集塵器由若干金屬板組成，它們分為二組，相互交叉、一組接地，另一組接高壓電，從而在金屬板之間產生一個電場。當帶電的工業污染空氣中的微粒通過時，會受到電場中的庫侖力發生轉向而被吸附到金屬板上，從而把污染微粒從空氣中分離出來。空氣再通過后置過濾器中和，逸出空氣中的帶電微粒，形成的凈化空氣通過風機排出。

靜電式油霧凈化器與其它除霧過程的根本區別在于：分離力（主要是靜電力）直接作用在粒子上，而不是作用在整個氣流上，這就決定了它具有分離粒子耗能小，氣流阻力也小的特點。由于作用在粒子上的靜電力相對較大，所以即使對亞微米級(0.01um) 的粒子，也能有效地捕集。